سلیکن ویفرز کی جسمانی صفائی

جسمانی صفائی کے تین طریقے ہیں:
(1) برش یا اسکربنگ: ذرات کی آلودگی کو دور کر سکتا ہے اور زیادہ تر فلمیں فلم سے چپک جاتی ہیں۔
(2) ہائی پریشر کی صفائی: مائع کو فلم کی سطح پر اسپرے کیا جاتا ہے، اور نوزل ​​کا دباؤ کئی سو ماحول کے برابر ہوتا ہے۔ ہائی پریشر کی صفائی جیٹ ایکشن پر انحصار کرتی ہے، اس لیے فلم کے کھرچنے اور خراب ہونے کا امکان کم ہوتا ہے۔ تاہم، ہائی پریشر اسپرے سے جامد بجلی پیدا ہوگی، جسے نوزل ​​اور فلم کے درمیان فاصلے اور زاویہ کو ایڈجسٹ کرکے یا اینٹی سٹیٹک ایجنٹ کو شامل کرکے بچا جاسکتا ہے۔
(3) الٹراسونک صفائی: الٹراسونک صوتی توانائی محلول میں منتقل ہوتی ہے، اور فلم پر موجود آلودگی cavitation کے ذریعے دھل جاتی ہے۔ تاہم، پیٹرن والی چادروں سے 1 مائکرون سے چھوٹے ذرات کو ہٹانا زیادہ مشکل ہے۔ بہتر صفائی کے اثر کے لیے الٹرا ہائی فریکوئنسی بینڈ کی فریکوئنسی میں اضافہ کریں۔